产品说明
T/L/N/BPFA全氟过滤器是由进口超纯的PFA材料及PTFE膜构成,全氟结构,适用于高腐蚀性高温过滤。
在严格的加工工艺和洁净度控制下,具备优异的化学相容性,针对酸、碱、有机等化学品都耐受并具有极低的金属析出,保证了过滤效率同时延长使用寿命。
100%完整性测试,满足半导体制造过程中的工艺要求。
提供预湿选项,减少设备预操作时间。
一体式结构有更好的密封性,更不容易产生泄露。易于安装和更换,减少了设备安装时间,简化了系统设计。
技术参数
| 滤膜材质 | PTFE |
| 外壳 | PFA |
| 端盖 / 骨架 / 中心杆 | PFA |
| 最高工作温度 | 180℃ |
| 最大工作压差 | 0.42MPa/25℃ |
| 过滤面积‑E1 (83PFA 滤芯) | 1.8㎡/10 英寸 |
| 过滤面积‑E2 (83PFA 滤芯) | 2.2㎡/10 英寸 |
| 过滤面积‑E3 (83PFA 滤芯) | 3㎡/10 英寸 |