T/L-PFA 全氟过滤器是由进口超纯的PFA 材料及PTFE膜构成，全氟结构，适用于高腐蚀性高温过滤。 

严格的加工工艺和洁净度控制下，T/L-PFA 全氟过滤器具优 异的化学相容性，针对酸、碱、有机等化学品都耐受并具有极低的金属析出 .，保证了过滤效率同时延长使用寿命。 

100% 完整性测试，满足半导体制造过程中的工艺要求。 提供预湿选项，减少设备预操作时间。 

一体式结构有更好的密封性，更不容易产生泄露。易于安装和更换，减少了设备安装时间，简化了系统设计。

技术参数