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微电子囊式滤芯系列 TPFA/LPFA/NPFA/BPFA系列
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嘉兴威勒流体科技有限公司
产品说明

T/L/N/BPFA全氟过滤器是由进口超纯的PFA材料及PTFE膜构成,全氟结构,适用于高腐蚀性高温过滤。

在严格的加工工艺和洁净度控制下,具备优异的化学相容性,针对酸、碱、有机等化学品都耐受并具有极低的金属析出,保证了过滤效率同时延长使用寿命。

100%完整性测试,满足半导体制造过程中的工艺要求。

提供预湿选项,减少设备预操作时间。

一体式结构有更好的密封性,更不容易产生泄露。易于安装和更换,减少了设备安装时间,简化了系统设计。

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