产品说明
CFPR系列是针对半导体领域的光阻加工过程所设计的一次性囊式滤芯,旨在去除光阻剂使用过程中所产生的颗粒,提高产品良率。
具有紧凑的空间结构,减少了料液的残留,整体式的设计使得更换更为安全和快捷。
在洁净室内制造、测试和包装,以确保产品的清洁度。
适用于小流量场合过滤。有多种材质可选,满足多种需求。
| 滤膜材质 | PP / PTFE / NF |
| 外壳 | PP / PVDF |
| 最高工作温度 | 40℃(PP) / 80℃(PVDF) |
| 最大工作压差 | 0.4MPa(25℃) |
CFPR系列是针对半导体领域的光阻加工过程所设计的一次性囊式滤芯,旨在去除光阻剂使用过程中所产生的颗粒,提高产品良率。
具有紧凑的空间结构,减少了料液的残留,整体式的设计使得更换更为安全和快捷。
在洁净室内制造、测试和包装,以确保产品的清洁度。
适用于小流量场合过滤。有多种材质可选,满足多种需求。
| 滤膜材质 | PP / PTFE / NF |
| 外壳 | PP / PVDF |
| 最高工作温度 | 40℃(PP) / 80℃(PVDF) |
| 最大工作压差 | 0.4MPa(25℃) |