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涂胶显影过滤 三孔光刻胶囊式CFTHPS系列
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嘉兴威勒流体科技有限公司
产品说明

CFTHPS系列专门应用于中小流量液体的有效过滤,尤其适用于半导体光刻应用使用点。PTFE膜不用预润湿,优化膜效率,确保半导体行业光刻胶POU应用中的最大流量。

这款过滤器紧凑而稳定的设计便于安装或改造现有工具。过滤器能够在不到一分钟的时间内完成更换,无需任何工具或排液,最少化滴漏。

滤膜材质PTFE、PP、UPE、N66(尼龙 66)
导流层材质HDPE(高密度聚乙烯)
密封圈材质FFKM(全氟醚橡胶)
外壳材质HDPE(高密度聚乙烯)
最大进口压力0.39MPa(25℃)
最大工作压差0.27MPa(25℃)
最高工作温度40℃


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