CFPG系列为化学泵系统提供了出色的保护，设计用于安装在泵的上游，通过捕获破碎的晶圆碎片和大颗粒来保护关键的泵部件(如波纹管和隔膜)。简化的接头设计便于安装到现有或新泵系统中。