产品说明
GSSV气体滤芯外壳是由电子级不锈钢制成，是专为半导体工艺中高温高压状态下的气体过滤而设计的。该系列具有耐高温高压、低析出、低初始压降的优点。
技术参数
| 滤膜材质 | 疏水性 PTFE |
| 外壳材质 | 316L 电解抛光 |
| 支持材料 | PFA 440HP / 高纯 PP |
| 表面粗糙度 | ≤0.18 μm / 7 μin Ra |
| 密封圈 | 包氟 (默认)/FFKM（可选） |
| 最大工作温度 | 170℃ |
| 最大工作压差 | 正向 0.7MPa |
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