产品说明
GSSM气体滤芯外壳是由电子级不锈钢制成，是专为半导体工艺中高温高压状态下的气体过滤而设计的。该系列具有耐高温高压、低析出、低初始压降的优点。
技术参数
| 滤膜材质 | 疏水性 PTFE（聚四氟乙烯） |
| 外壳材质 | 316L 不锈钢（电解抛光处理） |
| 支撑材料 | PFA 440HP（可溶性聚四氟乙烯） |
| 表面粗糙度 | ≤0.18 μm / 7 μin Ra |
| 密封圈 | 包氟（默认）/ FFKM（全氟醚橡胶，可选） |
| 最大工作温度 | 170℃ |
| 最大工作压差 | 正向 0.55MPa |
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